什么是微电子技术 一

近30多年来，电子计算机和通信技术突飞猛进，电脑装置的体积越来越小，功能越来越强，价格越来越便宜。这正是微电子技术所带来的一场革命。

20世纪60年代，电子学产生了一个新的学科分支，研究如何利用固体内部的微观特性以及一些特殊工艺，在一块半导体芯片上制作大量的元件，从而在一个微小面积中制造出复杂的电子系统，这就是微系统电子学，简称微电子学。而微电子技术便是微电子学中各项工艺技术的总称，它包括系统和电路设计，器件的物理性能、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门技术。

随着微电子技术的发展，集成电路经历了小规模集成电路、中规模集成电路、大规模集成电路和超大规模集成电路四个阶段。最初在20世纪60年代末，一块芯片上只能集成几千个元件，而今天在只有1个多平方厘米的芯片上，集成的电子元器件数多达上亿个。材料制备工艺的发展，使得硅片可以做得越来越大，目前生产的硅片直径是20厘米左右。这就是说，在一个硅片上同时可以制造更多的集成电路，大大提高了生产效率。

集成密度的不断提高和半导体工艺的发展密切相关。比如制造集成电路时的掺杂工艺，较早的时候采用热扩散的方法，准确度不易控制。现在，多用离子注入的方法，准确度大大提高了，集成密度也跟着上了一个台阶。

微电子技术的发展，使电子设备和系统在微小型化、高可靠性和低成本方面进入了一个新阶段，这种发展所产生的影响正深深地渗入自然科学与社会科学各个学科，给社会经济和人们的生活方式、思维观念带来重大的变革。可以预见，微电子技术还将会有长足的发展，集成密度还有望进一步提高，电脑也将实现高度的人工智能，代替人类从事很多繁重的脑力劳动。

关键词：微电子技术 微电子学 集成电路